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一种CVD炉发热体的取出装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202021758318.3
  • IPC分类号:C23C16/44
  • 申请日期:
    2020-08-21
  • 申请人:
    山东国晶新材料有限公司
著录项信息
专利名称一种CVD炉发热体的取出装置
申请号CN202021758318.3申请日期2020-08-21
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/44IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;4查看分类表>
申请人山东国晶新材料有限公司申请人地址
山东省德州市禹城市南环东路88号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人山东国晶新材料有限公司当前权利人山东国晶新材料有限公司
发明人刘汝强;王殿春;李晓明;吴思华;周清波
代理机构济南金迪知识产权代理有限公司代理人杨磊
摘要
本实用新型涉及一种CVD炉发热体的取出装置,该取出装置包括支架主体,所述的支架主体是由三根支杆组成的相互呈120°角的星型三角形结构,三根支杆上均设置有可沿支杆自由滑动的吊杆,所述的吊杆的端部设置有挂钩。本实用新型的支架主体为相互呈120°角的星型三角形结构,可以提高发热体取出时的稳定性。支架主体上三根可滑动的吊杆,可以根据发热体直径的大小进行调节,提高了工装的适用性。支架主体采用三人合作抬动的方式,较前期两人抬动的取出方式,操作空间更大、更省力、更安全;通过使用此装置,提高了取出发热体操作的安全性、效率、可操作性。

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