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全折射式投影物镜

发明专利有效专利

申请号：
CN200810042325.0
IPC分类号：G02B13/00;G02B9/60;G02B13/18;G02B1/02
申请日期：
2008-08-29
申请人：
上海微电子装备有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	全折射式投影物镜
申请号	CN200810042325.0	申请日期	2008-08-29
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2009-01-21	公开/公告号	CN101349798
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B13/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B13/00 为下述用途专门设计的光学物镜（有可变放大率的入G02B 15/00）	IPC分类号	G;0;2;B;1;3;/;0;0;;;G;0;2;B;9;/;6;0;;;G;0;2;B;1;3;/;1;8;;;G;0;2;B;1;/;0;2查看分类表>
申请人	上海微电子装备有限公司	申请人地址	上海市张江高科技园区张东路1525号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海微电子装备（集团）股份有限公司	当前权利人	上海微电子装备（集团）股份有限公司
发明人	孙文凤;储兆祥
代理机构	上海思微知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	屈蘅;李时云

摘要

本发明提出一种全折射式投影物镜，用于将物平面内的图案投射到像平面内，所述投影物镜系统由25片光学镜片组成，从物面到像面依次排列有五个镜片组，其中，第一和第三镜片组具有负光焦度，第二、第四和第五镜片组具有正光焦度，本发明可以控制物方和像方远心度在3毫弧度以内，提高了光刻不同层之间的互联性能，另外减少镜片使用的数量，且使用同一材料的镜片，降低了制造成本和调试的难度。

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