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纯相位液晶空间光调制器校准平台及方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110078542.0
  • IPC分类号:G02F1/13;G01M11/02
  • 申请日期:
    2021-01-20
  • 申请人:
    中国科学院微电子研究所
著录项信息
专利名称纯相位液晶空间光调制器校准平台及方法
申请号CN202110078542.0申请日期2021-01-20
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-06-04公开/公告号CN112904601A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02F1/13IPC分类号G;0;2;F;1;/;1;3;;;G;0;1;M;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人中国科学院微电子研究所申请人地址
北京市朝阳区北土城西路3号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院微电子研究所当前权利人中国科学院微电子研究所
发明人侯煜;李曼;王然;岳嵩;张昆鹏;石海燕;张喆;薛美;张紫辰
代理机构北京兰亭信通知识产权代理有限公司代理人陈晓瑜
摘要
本发明提供一种纯相位液晶空间光调制器校准平台,包括:激光发生模块,用于产生原始激光束;分光镜,设置在原始激光束的光路上,分光镜用于将激光发生模块发射的激光分为第一激光束和第二激光束;反射镜,设置在第一激光束的光路上,反射镜用于将第一激光束反射为第一反射激光束;摆台,设置在第二激光束的光路上,摆台用于承载纯相位液晶空间光调制器,纯相位液晶空间光调制器用于对第二激光束调制为第二反射激光束;成像模块,设置在第一反射激光束和第二反射激光束相交的位置,成像模块用于采集第一反射激光束和第二反射激光束的干涉图像。本发明能够得到调制后的激光束与调制前的激光束的差异,得到准确的纯相位液晶空间光调制器的调制特性。

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