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一种电感耦合等离子体装置

发明专利有效专利

申请号：
CN202110643823.6
IPC分类号：H01J37/32;H01L21/3065
申请日期：
2021-06-09
申请人：
上海邦芯半导体科技有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种电感耦合等离子体装置
申请号	CN202110643823.6	申请日期	2021-06-09
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-06	公开/公告号	CN113223916A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;6;5查看分类表>
申请人	上海邦芯半导体科技有限公司	申请人地址	上海市金山区卫昌路293号2幢12638室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海邦芯半导体科技有限公司	当前权利人	上海邦芯半导体科技有限公司
发明人	吴堃
代理机构	上海创开专利代理事务所（普通合伙）	代理人	李兰兰

摘要

一种电感耦合等离子体装置，包括：反应腔主体，所述反应腔主体的顶壁包括介质窗；位于介质窗顶部的电感线圈；位于介质窗顶部的若干分立的磁性元件，所述磁性元件至少被部分圈的电感线圈包围且与电感线圈分立。所述电感耦合等离子体装置能够调节反应腔主体内部的等离子体密度分度且结构简单。

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