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自动化机台的控制方法、装置及系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201010593175.X
  • IPC分类号:G05B19/02
  • 申请日期:
    2010-12-16
  • 申请人:
    北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
著录项信息
专利名称自动化机台的控制方法、装置及系统
申请号CN201010593175.X申请日期2010-12-16
法律状态暂无申报国家暂无
公开/公告日2012-07-04公开/公告号CN102540910A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G05B19/02IPC分类号G;0;5;B;1;9;/;0;2查看分类表>
申请人北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司申请人地址
北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京北方华创微电子装备有限公司当前权利人北京北方华创微电子装备有限公司
发明人葛斌
代理机构北京润泽恒知识产权代理有限公司代理人苏培华
摘要
本发明提供了一种自动化机台的控制方法,包括:101,判断机械手上是否有物料,若是,执行骤102A,反之,执行103A;102A,判断物料盒腔内的物料盒是否处在取料位置,若是,执行102B,反之,执行104;102B,判断取料位置的物料盒内是否有物料,若否,发送机械手伸手信号,反之,执行104;103A,判断物料盒腔内的物料盒是否处在放料位置,若是,执行103B,反之,执行104;103B,判断放料位置的物料盒内是否有物料,若是,发送机械手伸手信号,反之,执行104;104,发送报警驱动信号。本发明的控制方法能对结果逻辑分析,避免操作者人为判断造成的误判。本发明还提供一种控制装置及控制系统。

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