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光酸产生剂及含有它的光致抗蚀剂

发明专利有效专利

申请号：
CN201110187346.3
IPC分类号：C07D207/27;C07C381/12;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/00
申请日期：
2011-04-27
申请人：
罗门哈斯电子材料有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	光酸产生剂及含有它的光致抗蚀剂
申请号	CN201110187346.3	申请日期	2011-04-27
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-02-08	公开/公告号	CN102344400A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C07D207/27 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C07 有机化学〔2〕 C07D 杂环化合物（高分子化合物入C08）〔2〕 C07D207/00 杂环化合物，含五元环，不与其他环稠合，带1个氮原子作为惟一的环杂原〔2〕 C07D207/02 只有氢或碳原子直接连在环氮原子上〔2〕 C07D207/18 环原子间或环原子与非环原子间有1个双键〔2〕 C07D207/22 有杂原子或有以3个键连杂原子、其中最多以1个键连卤素的碳原子，例如，酯基或腈基，直接连在环碳原子上〔2〕 C07D207/24 氧或硫原子〔2〕 C07D207/26 2-吡咯烷酮〔2〕 C07D207/263 只有氢原子或只含氢和碳原子的基直接连在其他环碳原子上〔3〕 C07D207/27 有取代烃基直接连在环氮原子上〔3〕	IPC分类号	C;0;7;D;2;0;7;/;2;7;;;C;0;7;C;3;8;1;/;1;2;;;G;0;3;F;7;/;0;0;4;;;G;0;3;F;7;/;0;3;9;;;G;0;3;F;7;/;0;0查看分类表>
申请人	罗门哈斯电子材料有限公司	申请人地址	美国马萨诸塞州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	罗门哈斯电子材料有限公司	当前权利人	罗门哈斯电子材料有限公司
发明人	Y·C·裴;T·卡多拉西亚;刘沂
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	陈哲锋

摘要

光酸产生剂及含有它的光致抗蚀剂。提供新的包括结构为-C(＝O)N＜的氮基功能组分的光酸产生剂化合物。还提供包括一种或多种本发明PAGs的光致抗蚀剂组合物。

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