一种CVD金刚石生长腔室内的石英钟罩结构

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201721067108.8
IPC分类号：B01J3/06
申请日期：
2017-08-24
申请人：
西安碳星半导体科技有限公司

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专利名称	一种CVD金刚石生长腔室内的石英钟罩结构
申请号	CN201721067108.8	申请日期	2017-08-24
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B01J3/06 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B01 一般的物理或化学的方法或装置 B01J 化学或物理方法，例如，催化作用或胶体化学；其有关设备〔2〕 B01J3/00 利用低于或高于大气压力使物质发生化学或物理变化的方法；其有关设备（用于盛装或贮存压缩、液化或固化气体的压力容器入F17C）〔1，2，2006.01〕 B01J3/06 应用超高压方法，例如，用于生成金刚石；其设备，例如塑模或挤压模（B01J3/04优先）〔2〕	IPC分类号	B;0;1;J;3;/;0;6查看分类表>
申请人	西安碳星半导体科技有限公司	申请人地址	陕西省西安市国家民用航天产业基地东长安街888号LED产业园1号楼1层厂房南半部变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安碳星半导体科技有限公司	当前权利人	西安碳星半导体科技有限公司
发明人	碳星;蔺钢;李升
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种CVD金刚石生长腔室内的石英钟罩结构，包括罩体，所述罩体的外侧设有两块L形锁紧板，且两块L形锁紧板关于罩体对称设置，所述锁紧板内设有容纳腔，所述容纳腔侧壁上固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧的一端固定连接有滑板，所述滑板滑动连接在容纳腔的侧壁上，所述滑板的下侧设有连接板，所述连接板的一侧设有多个锁紧螺栓，所述连接板上设有与锁紧螺栓相匹配的第一螺栓孔，所述滑板上设有与第一螺栓孔相匹配的第二螺栓孔。本实用新型有效防止了在运输过程中灰尘进入罩体内，从而保证了石英钟罩的干净度，因此这种石英钟罩结构值得推广。

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