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熔石英光学玻璃的激光束抛光方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201910011937.1
IPC分类号：B23K26/00;B23K26/402;B23K26/60;B23K26/70
申请日期：
2019-01-07
申请人：
中国科学院上海光学精密机械研究所

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法律信息

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著录项信息

专利名称	熔石英光学玻璃的激光束抛光方法
申请号	CN201910011937.1	申请日期	2019-01-07
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-04-09	公开/公告号	CN109590603A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B23K26/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B23 机床；其他类目中不包括的金属加工 B23K 钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工（用金属的挤压来制造金属包覆产品入B21C 23/22；用铸造方法制造衬套或包覆层入B22D 19/08；用浸入方式的铸造入B22D 23/04；用烧结金属粉末制造复合层入B22F 7/00；机床上的仿形加工或控制装置入B23Q；不包含在其他类目中的包覆金属或金属包覆材料入C23C；燃烧器入F23D） B23K26/00 用激光束加工，例如焊接，切割或打孔〔2，3，2014.01〕	IPC分类号	B;2;3;K;2;6;/;0;0;;;B;2;3;K;2;6;/;4;0;2;;;B;2;3;K;2;6;/;6;0;;;B;2;3;K;2;6;/;7;0查看分类表>
申请人	中国科学院上海光学精密机械研究所	申请人地址	上海市嘉定区清河路390号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院上海光学精密机械研究所	当前权利人	中国科学院上海光学精密机械研究所
发明人	邵建达;贺婷;魏朝阳;郭梦婷;蒋志刚
代理机构	上海恒慧知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	张宁展

摘要

本发明为一种熔石英光学玻璃的抛光方法，该方法利用连续CO2激光束抛光熔石英光学玻璃，采用非聚焦光源并结合温度监控及反馈系统，实现对熔石英光学玻璃表面粗糙度RMS小于0.2nm的激光束抛光，抛光后熔石英光学玻璃的表面几乎无微缺陷和划痕。该发明包含退火步骤，可消除激光束抛光带来的残余热应力。本发明为无损超光滑表面熔石英光学玻璃的加工提供了新方法。

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