光纤法珀压力传感器及其敏感单元的高一致性制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110769703.0
IPC分类号：G01L1/24;G01L11/02
申请日期：
2021-07-07
申请人：
中北大学

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著录项信息

专利名称	光纤法珀压力传感器及其敏感单元的高一致性制备方法
申请号	CN202110769703.0	申请日期	2021-07-07
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-09-03	公开/公告号	CN113340491A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L1/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01L 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）〔4〕 G01L1/00 力或应力的一般计量（测量由于冲击产生的力入G01L 5/00）〔4〕 G01L1/24 通过测量材料受应力时其光学性质的变化，例如，应用光弹性应力分析	IPC分类号	G;0;1;L;1;/;2;4;;;G;0;1;L;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人	中北大学	申请人地址	山西省太原市学院路3号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中北大学	当前权利人	中北大学
发明人	贾平岗;熊继军;李加顺;刘佳;安国文;梁庭
代理机构	深圳舍穆专利代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	黄贤炬

摘要

本公开描述一种光纤法珀压力传感器及其敏感单元的高一致性制备方法，其包括以下步骤：准备第一石英片、第二石英片、以及第三石英片；对第一石英片的上表面进行抛光，对第二石英片的上表面和下表面进行抛光，并且对第三石英片的上表面进行抛光；以预定分布方式在第一石英片的上表面或第二石英片的上表面制作多个凹槽；以预定分布方式在第三石英片制作多个通孔；以覆盖多个凹槽的方式将第一石英片的上表面与第二石英片的上表面结合，并且将第三石英片的上表面与第二石英片的下表面结合，形成各个凹槽与各个通孔分别共轴的层叠体；并且对多个凹槽进行切割以获得多个敏感单元。根据本公开，能够提高光纤法珀压力传感器的敏感单元的一致性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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