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一种用于纳米压印基片清洗夹持架

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202023311655.0
  • IPC分类号:B08B13/00
  • 申请日期:
    2020-12-31
  • 申请人:
    青岛天仁微纳科技有限责任公司
著录项信息
专利名称一种用于纳米压印基片清洗夹持架
申请号CN202023311655.0申请日期2020-12-31
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B08B13/00IPC分类号B;0;8;B;1;3;/;0;0查看分类表>
申请人青岛天仁微纳科技有限责任公司申请人地址
山东省青岛市城阳区城阳街道祥阳路106号青岛未来科技产业园6号厂房 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人青岛天仁微纳科技有限责任公司当前权利人青岛天仁微纳科技有限责任公司
发明人冀然
代理机构山东重诺律师事务所代理人王鹏里
摘要
本实用新型公开了一种用于纳米压印基片清洗夹持架,包下固定架和上固定架,下固定架左右对称分布有两组,两个下固定架内侧端之间固定连接有旋转块,上固定架内侧端转动装配于旋转块上,下固定架和上固定架之间夹持固定有基片;方案采用下固定架和上固定架配合使用,对基片的边缘进行柔性夹持,利用三点同时夹持的方式保证对基片夹持的稳定性,同时实现了避免基片外壁损伤的优点;方案采用的上固定架可以进行调节,通过卡接结构的位置调节,能够实现对基片夹持与否的控制,通过上固定架自身的转动调节,方便取放基片。

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