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光器件晶片的分割方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201310534835.0
  • IPC分类号:H01L21/78;B28D5/00;B28D5/04
  • 申请日期:
    2013-11-01
  • 申请人:
    株式会社迪思科
著录项信息
专利名称光器件晶片的分割方法
申请号CN201310534835.0申请日期2013-11-01
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2014-06-04公开/公告号CN103839889A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/78IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;7;8;;;B;2;8;D;5;/;0;0;;;B;2;8;D;5;/;0;4查看分类表>
申请人株式会社迪思科申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社迪思科当前权利人株式会社迪思科
发明人铃木稔
代理机构北京三友知识产权代理有限公司代理人李辉;金玲
摘要
本发明提供光器件晶片的分割方法,具有:激光加工槽形成步骤,对板状被加工物的第2面照射相对于该板状被加工物具有吸收性波长的激光束,在第2面上形成激光加工槽;以及分割步骤,将板状被加工物载置到支撑构件上,使得形成于板状被加工物的第2面的激光加工槽与对具有直线状间隙的支撑构件的间隙进行划定的一对支点的中央对齐,沿着激光加工槽并隔着扩展带用按压刀从第1面垂直按压板状被加工物,对板状被加工物进行分割,在该分割步骤中,隔着缓冲材料用按压刀按压板状被加工物,由此,对板状被加工物,除了附加按压刀施加给板状被加工物的垂直方向的按压力以外,还附加以按压刀为界而将板状被加工物向两侧压散的扩张作用。

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