薄膜的制作方法及制作装置

发明专利无效专利

申请号：
CN00101623.7
IPC分类号：--
申请日期：
2000-01-21
申请人：
李京熙

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	薄膜的制作方法及制作装置
申请号	CN00101623.7	申请日期	2000-01-21
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2001-08-08	公开/公告号	CN1307143
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	李京熙	申请人地址	韩国庆尚南道变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	李京熙	当前权利人	李京熙
发明人	李景熙;李文九
代理机构	上海专利商标事务所	代理人	吴明华

摘要

本发明是以提高电磁波的隔断、光学特性、电气特性、电气化学特性、机械特性等为目的的,关于薄膜制作方法及制作装置的发明。在本发明中,把真空镀膜(蒸涂、离子束、电子束、等离子束等)和溅镀、离子镀、离子注入法、紫外线辐射和等离子体蚀刻等几种制作薄膜的技术及装置同时或复合地组合在一起,利用一台装置制作薄膜。利用单一的装置生产成品,不但能缩短生产时间和简化生产流程,还极大地提高了产品质量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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