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一种钼铌合金旋转靶材及其制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910379954.0
  • IPC分类号:C23C14/34;B22F3/04;B22F3/15
  • 申请日期:
    2019-05-08
  • 申请人:
    东莞市欧莱溅射靶材有限公司
著录项信息
专利名称一种钼铌合金旋转靶材及其制备方法
申请号CN201910379954.0申请日期2019-05-08
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-08-23公开/公告号CN110158042A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/34IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;4;;;B;2;2;F;3;/;0;4;;;B;2;2;F;3;/;1;5查看分类表>
申请人东莞市欧莱溅射靶材有限公司申请人地址
广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东莞市欧莱溅射靶材有限公司当前权利人东莞市欧莱溅射靶材有限公司
发明人李培林;文宏福
代理机构广州骏思知识产权代理有限公司代理人程毅
摘要
本发明公开了一种钼铌合金旋转靶及其制备方法,其通过将钼粉和铌粉装入模具并在冷等静压作用下成为大尺寸的空心钼铌管压坯,随后装入包套中真空焊接密封,热等静压烧结成管坯,在后期机加工后最终制成钼铌旋转靶材。本制备方法能够减少杂质元素的引入,所生产靶材成分均匀、无偏析、晶粒细小。通过对所得钼铌合金旋转靶进行检测,其密度大于9.97g/cm3,晶粒度小于50微米,C‑SCAN扫描显示组织均匀,未发现有内部缺陷,达到了高端溅射靶材的要求。

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