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气体上浮工件支承装置及非接触工件支承方法
发明专利有效专利摘要:具有使气体向上方喷出的气体上方喷出部(2B)和位于所述气体上方喷出部(2B)的上方侧并使气体向下方喷出的气体下方喷出部(2A),所述气体下方喷出部(2A)设置于,对于通过从所述气体上方喷出部(2B)喷出的所述气体进行上浮支承的板状工件(100),使所述气体从所述板状工件(100)的上方向下方喷出从而施加压力的位置,在对板状工件进行上浮支承之际,能进行上浮量均匀并且高平面度地支承。
*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供