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一种工艺门的水平调节装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201420074145.1
  • IPC分类号:B23P19/10
  • 申请日期:
    2014-02-20
  • 申请人:
    北京七星华创电子股份有限公司
著录项信息
专利名称一种工艺门的水平调节装置
申请号CN201420074145.1申请日期2014-02-20
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B23P19/10IPC分类号B;2;3;P;1;9;/;1;0查看分类表>
申请人北京七星华创电子股份有限公司申请人地址
北京市经济技术开发区文昌大道8号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京北方华创微电子装备有限公司当前权利人北京北方华创微电子装备有限公司
发明人张骏;柳文涛
代理机构上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)代理人吴世华;林彦之
摘要
本实用新型公开了一种工艺门的水平调节装置,竖直安装在工艺门与固定盘之间的支撑柱附近,包括一个管型壳体,其内壁下端设有螺纹,装有调节螺钉,调节螺钉的下端与固定盘连接,壳体的上端装有带刻度的滑块,在滑块与调节螺钉之间的壳体内装有压缩弹簧,滑块的上端与工艺门相接触。本实用新型利用水平调节装置的壳体与调节螺钉相对转动产生的位移,驱使壳体内的弹簧带动滑块上升或下降,实现对工艺门水平度的直接观察和实时调整,可避免调平误差,节约调平时间,提高工艺质量和产能。

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