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一种p型掺杂二氧化锡透明导电膜及其制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201610339077.0
  • IPC分类号:C23C14/08;C23C14/34
  • 申请日期:
    2016-05-20
  • 申请人:
    郑州大学
著录项信息
专利名称一种p型掺杂二氧化锡透明导电膜及其制备方法
申请号CN201610339077.0申请日期2016-05-20
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-08-31公开/公告号CN105908127A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/08IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;0;8;;;C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人郑州大学申请人地址
河南省郑州市科学大道100号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人郑州大学当前权利人郑州大学
发明人邵国胜;郭美澜;韩小平;胡俊华
代理机构郑州睿信知识产权代理有限公司代理人牛爱周
摘要
本发明公开了一种p型掺杂二氧化锡透明导电膜及其制备方法,该透明导电膜由以下原子数百分比的组分组成:O62%~70%,其余为Sn和掺杂元素;所述掺杂元素为B、Al、Ga、In、Zn中的任意一种或多种,掺杂元素的原子数为Sn与掺杂元素原子总数的3%~6%。本发明的p型掺杂二氧化锡透明导电膜,采用B、Al、Ga、In、Zn中的任意一种或多种掺杂二氧化锡,形成的透明导电膜为稳定p型半导体,平均可见光透过率达80%以上,最优电阻率可达10‑4Ω.cm,其成分简单,光电性能优异,制备工艺灵活,易于生产,可广泛应用于太阳能电池、功能窗户等多种光电器件,市场前景广阔。

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