微型电磁式能量采集器及制备方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200910080541.9
IPC分类号：H02K35/02;H01F7/02;H01F41/02
申请日期：
2009-03-20
申请人：
北京大学

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	微型电磁式能量采集器及制备方法
申请号	CN200910080541.9	申请日期	2009-03-20
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2009-08-26	公开/公告号	CN101515746
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H02K35/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H02 发电、变电或配电 H02K 电机（电动继电器入H01H 53/00；直流或交流电力输入变换为浪涌电力输出入H02M 9/00） H02K35/00 带有往复、摆动或振动的线圈系统、磁体、电枢或其他磁路部分的发电机（结构上与发电机相连的控制机械能的装置入H02K 7/00，例如入H02K 7/06） H02K35/02 带有可动磁体和静止线圈系统的	IPC分类号	H;0;2;K;3;5;/;0;2;;;H;0;1;F;7;/;0;2;;;H;0;1;F;4;1;/;0;2查看分类表>
申请人	北京大学	申请人地址	北京市北京大学红三楼105 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京大学科技开发部	当前权利人	北京大学科技开发部
发明人	袁泉;方东明;张海霞
代理机构	北京市商泰律师事务所	代理人	毛燕生

摘要

本发明涉及一种微机电系统(MEMS)电磁式能量采集器及制备方法，它采用体硅和表面微机械加工技术相结合的三维微机械加工方法，利用体硅微机械加工技术的方法刻蚀硅片V型槽，在V型槽内电镀能量采集器的永磁体(阵列)，利用表面微机械加工技术的方法制备能量采集器的振动膜(“蟹脚”状悬臂梁和振动平板)和平面螺旋线圈。本发明的电磁式能量采集器采用电镀法制备永磁体(阵列)，来代替传统能量采集器的永磁体的微装配或者粘连手段，使得能量采集器及制备可以与IC工艺相兼容。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供