一种MEMS气体传感器及其制作方法发明专利
申请号：CN201410397034.9
LOC分类号:G01N27/00
IPC结构图谱：
- F机械工程；照明；加热；武器；爆破
- F2照明；加热
- F26干燥
- F26B从固体材料或制品中消除液体的干燥（联合收割机的干燥装置入A01D 41/133；干燥果实或疏菜用的框架入A01F 25/12；干燥食品入A23；干燥头发入A45D 20/00；干燥身体的器具入A47K 10/00；干燥家庭物品入A47L；干燥气体或蒸汽入B01D；脱水或类似的从固体分离出液体的化学或物理方法入B01D 43/00；离心设备入B04；干燥陶瓷器入C04B 33/30；与其他处理方式结合的干燥纱线或纤维入D06C；没有加热或正向空气循环的洗衣用干燥框架，家用洗衣干燥机或旋转式脱水机，拧干或热压洗衣入D06F；炉、窑、烘烤炉入F27）
- F26B25/00不包含F26B 21/00或F26B 23/00组中的一般应用部件（装载、传送或卸载一般入B65G）
