包含含有氟的表面活性剂的膜形成用组合物

发明专利有效专利

申请号：
CN201580006193.4
IPC分类号：G03F7/11;C08L33/04;C08L101/00;C08L101/04
申请日期：
2015-01-30
申请人：
日产化学工业株式会社

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著录项信息

专利名称	包含含有氟的表面活性剂的膜形成用组合物
申请号	CN201580006193.4	申请日期	2015-01-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-09-14	公开/公告号	CN105940348A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/11 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/004 感光材料（G03F 7/12，G03F 7/14优先）〔5〕 G03F7/09 以细部结构为特征的，例如，基片层、辅助层（印刷版的基片层一般入B41N）〔5〕 G03F7/11 具有覆盖层或中间层的，例如，（使感光乳剂固着于片基的）胶层〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;1;1;;;C;0;8;L;3;3;/;0;4;;;C;0;8;L;1;0;1;/;0;0;;;C;0;8;L;1;0;1;/;0;4查看分类表>
申请人	日产化学工业株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	日产化学工业株式会社	当前权利人	日产化学工业株式会社
发明人	梅嵜真纪子;柄泽凉;志垣修平;水落龙太
代理机构	北京市中咨律师事务所	代理人	段承恩;孙丽梅

摘要

本发明提供一种在被膜的周边部产生的边缘凸起得以减少的被膜及其形成方法，所述边缘凸起导致产生即使通过蚀刻工序也不会被除去的不需要的残渣。本发明提供一种用于光刻工序的膜形成用组合物，所述膜形成用组合物包含表面活性剂，所述表面活性剂包含具有碳原子数3～5的全氟烷基部分结构的聚合物和低聚物。全氟烷基部分结构的碳原子数优选为4。上述全氟烷基部分结构可进一步包含烷基部分结构，上述聚合物及低聚物优选为(甲基)丙烯酸酯聚合物及低聚物。上述表面活性剂的含量为膜形成用组合物的固态成分的0.0001～1.5质量％。膜形成用组合物还包含涂膜树脂，该树脂为酚醛清漆树脂、缩合环氧系树脂、(甲基)丙烯酸树脂、聚醚系树脂或含硅树脂等。所形成的膜可作为抗蚀剂下层膜或抗蚀剂上层膜使用。

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