一种CVD反应炉过滤装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202020005366.9
IPC分类号：B01D46/12;B01D46/00
申请日期：
2020-01-02
申请人：
成都超纯应用材料有限责任公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种CVD反应炉过滤装置
申请号	CN202020005366.9	申请日期	2020-01-02
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B01D46/12 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B01 一般的物理或化学的方法或装置 B01D 分离（用湿法从固体中分离固体入B03B、B03D，用风力跳汰机或摇床入B03B，用其他干法入B07；固体物料从固体物料或流体中的磁或静电分离，利用高压电场的分离入B03C；离心机、涡旋装置入B04B；涡旋装置入B04C；用于从含液物料中挤出液体的压力机本身入B30B 9/02）〔5〕 B01D46/00 专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法（过滤元件入B01D 24/00至B01D 35/00；过滤材料入B01D 39/00；它们在过滤器外的再生入B01D 41/00） B01D46/10 采用具有平表面的滤板、滤片或滤垫的粒子分离器，如聚尘器 B01D46/12 多排的	IPC分类号	B;0;1;D;4;6;/;1;2;;;B;0;1;D;4;6;/;0;0查看分类表>
申请人	成都超纯应用材料有限责任公司	申请人地址	四川省成都市双流区西航港空港二路1166号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	成都超纯应用材料有限责任公司	当前权利人	成都超纯应用材料有限责任公司
发明人	白秋云
代理机构	成都睿道专利代理事务所（普通合伙）	代理人	潘育敏

摘要

本实用新型提供一种CVD反应炉过滤装置，涉及复合材料制备的技术领域，包括沉积桶，所述沉积桶的出气管连接有过滤机构，所述过滤机构包括壳体，所述壳体底部从下到上依次设有阻隔板和转盘，所述壳体顶部设有通板，所述阻隔板与所述通板之间形成过滤腔，所述转盘设于所述过滤腔内，所述转盘上连接有转筒，所述沉积桶的出气管伸入至转筒内；所述过滤腔内还设有引流筒，所述引流筒设于所述转筒内，所述引流筒的顶部与所述通板连接，所述通板上设有通孔，以使所述引流筒与所述过滤腔连通，所述引流筒的底部伸出所述转盘和所述阻隔板，所述壳体底部还设有引风机，所述引风机的进气管与所述引流筒的底部连接。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供