一种用于探测器读出芯片平行度校准的方法及系统

发明专利有效专利

申请号：
CN202110980095.8
IPC分类号：G01B11/26
申请日期：
2021-08-25
申请人：
中国科学院高能物理研究所

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著录项信息

专利名称	一种用于探测器读出芯片平行度校准的方法及系统
申请号	CN202110980095.8	申请日期	2021-08-25
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-11-30	公开/公告号	CN113720276A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/26 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/26 用于计量角度或锥度；用于检测轴线准直	IPC分类号	G01B11/26查看分类表>
申请人	中国科学院高能物理研究所	申请人地址	北京市石景山区玉泉路1*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院高能物理研究所	当前权利人	中国科学院高能物理研究所
发明人	蒋杰臣;孙亮;姜维春;徐玉朋;何会林;刘小桦;李鲜;杜园园;杨生;刘晓静;杨家卫;董泽芳
代理机构	北京君尚知识产权代理有限公司	代理人	司立彬

摘要

本发明公开了一种用于探测器读出芯片平行度校准的方法及系统。本方法为：1)将芯片模块固定在三维影像测量仪上；2)在芯片模块上确定出芯片的安装位置；3)在芯片模块的陶瓷边框上选择N个点，芯片上表面选择M个点；4)导出各所选点的三维坐标到数据处理单元，生成陶瓷边框的拟合面；5)以拟合面作为基准面，计算出芯片上每一所选点相对于基准面的距离；6)如果芯片上各所选点相对于该基准面的距离均为正值或负值，则找出一距离绝对值最小值，将芯片上各所选点对应的距离与该最小值的差值，作为对应点需要调节的幅度值；否则找出距离大于0的点中最大距离值，将芯片上各所选点对应的距离与该最大距离的差值，作为对应点调节的幅度值。

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发明授权

一种用于探测器读出芯片平行度校准的方法及系统

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