一种多功能显影喷淋机构

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202020590037.5
IPC分类号：G03F7/30;B05B15/68;B05B14/00;B05B13/02;B05B13/04
申请日期：
2020-04-20
申请人：
南通美精微电子有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种多功能显影喷淋机构
申请号	CN202020590037.5	申请日期	2020-04-20
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/30 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/26 感光材料的处理及其设备（G03F 7/12至G03F 7/24优先）〔3，5〕 G03F7/30 用液体消除影像的〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;3;0;;;B;0;5;B;1;5;/;6;8;;;B;0;5;B;1;4;/;0;0;;;B;0;5;B;1;3;/;0;2;;;B;0;5;B;1;3;/;0;4查看分类表>
申请人	南通美精微电子有限公司	申请人地址	江苏省南通市苏通科技产业园区江荣路100号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南通美精微电子有限公司	当前权利人	南通美精微电子有限公司
发明人	周涛;黎增祺;李真明
代理机构	南京纵横知识产权代理有限公司	代理人	董成

摘要

本实用新型公开了一种多功能显影喷淋机构，涉及显影喷淋装置技术领域，包括底板，所述底板的上表面固定连接有固定台，所述固定台的内部开设有操作腔，所述固定台的上表面固定连接有喷淋槽，所述喷淋槽内壁的底面固定连接有支撑筒，所述支撑筒的上表面抵接有喷淋台，所述喷淋槽的上表面固定连接有连接板，所述连接板的上表面固定连接有操作板，所述操作板的正面开设有第一限位槽和第二限位槽。本实用新型，通过上述结构之间的相互配合，达到了将显影液均匀的喷洒在基片的表面，保证了显影反应的均匀性，且对喷淋产生的废液进行收集的效果，解决了了传统显影液喷淋装置容易造成药液喷洒不均的现象发生的问题。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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