一种辊对辊紫外纳米压印装置及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201610986093.9
IPC分类号：G03F7/00
申请日期：
2016-11-09
申请人：
长春工业大学

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专利名称	一种辊对辊紫外纳米压印装置及方法
申请号	CN201610986093.9	申请日期	2016-11-09
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2017-01-11	公开/公告号	CN106324984A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;0查看分类表>
申请人	长春工业大学	申请人地址	吉林省长春市延安大街2055号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	长春工业大学	当前权利人	长春工业大学
发明人	谷岩;卢明明;林洁琼;韩小龙;陈斯;林恒;盖铭宇;王琳
代理机构	吉林长春新纪元专利代理有限责任公司	代理人	魏征骥

摘要

本发明涉及一种辊对辊紫外纳米压印装置及方法，属于纳米压印装置及方法。在外壳内有传输装置，传输装置的放卷辊后有电晕装置，涂布装置与微调装置通过螺纹连接，微调装置通过螺纹连接在外壳上，压印装置中的压印辊侧面有调节装置，所述的调节装置通过螺钉与底座连接，压印辊旁有紫外灯。优点是：由调节装置固定的压印辊与支撑辊能调整相对位置，提高位置精度，采用可调节的气压式涂布装置，在可以保证涂胶更均匀的同时，可以适应不同厚度的待压印材料，采用移动导轨和微动平台组成的调节装置对压印辊进行调节，可使压印图案的深宽比可以精确控制，并且脱模更容易。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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