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红外检测器制造方法和相关红外检测器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201980064803.4
  • IPC分类号:G01J5/02;G01J5/22
  • 申请日期:
    2019-11-26
  • 申请人:
    丽瑞德公司
著录项信息
专利名称红外检测器制造方法和相关红外检测器
申请号CN201980064803.4申请日期2019-11-26
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-05-11公开/公告号CN112789488A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01J5/02IPC分类号G;0;1;J;5;/;0;2;;;G;0;1;J;5;/;2;2查看分类表>
申请人丽瑞德公司申请人地址
法国帕莱索 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人丽瑞德公司当前权利人丽瑞德公司
发明人S·科蒂埃尔
代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)代理人刘新宇;张会华
摘要
本发明涉及红外检测器(9)的制造方法,包括以下步骤:‑将检测芯片(10)混合接合到第二芯片(13);通过两种芯片(10、13)的触点(17、23)和绝缘层(11、46)的粘附进行所述混合接合的步骤;‑从所述检测芯片(10)去除基板(80)至到达深氧化物层(45);‑形成透过所述深氧化物层(45)以到达存在于半导体层(42)中的晶体管(40)的导电焊盘(50);‑形成悬在所述深氧化物层(45)上方并电连接到所述导电焊盘(50)的微辐射热测定器(41)。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供