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涂布设备及其防止接头未拔取的装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200610143310.4
  • IPC分类号:G03F7/16
  • 申请日期:
    2006-11-03
  • 申请人:
    力晶半导体股份有限公司
著录项信息
专利名称涂布设备及其防止接头未拔取的装置
申请号CN200610143310.4申请日期2006-11-03
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2008-05-07公开/公告号CN101174091
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/16IPC分类号G;0;3;F;7;/;1;6查看分类表>
申请人力晶半导体股份有限公司申请人地址
中国台湾新竹科学工业园区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人力晶半导体股份有限公司当前权利人力晶半导体股份有限公司
发明人杨盛华;梁景泯
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人陶凤波
摘要
本发明公开了一种防止接头未拔取装置,用于接头,该接头可拆卸地连接到工作装置,该防止接头未拔取装置包括:钥匙、基座以及指示装置。钥匙被设在接头上,基座设置成与工作装置保持适当距离,指示装置具有电路,钥匙与基座分别连接到该电路。当钥匙连接到基座时,该电路形成闭路,当钥匙脱离基座时,该电路形成开路,且通过该适当距离,接头脱离工作装置后钥匙才能连接到基座。

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