一种半导体基板用保护膜是否剥离监视装置及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202010553455.1
IPC分类号：G01V8/10
申请日期：
2020-06-17
申请人：
考姆爱斯株式会社

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著录项信息

专利名称	一种半导体基板用保护膜是否剥离监视装置及方法
申请号	CN202010553455.1	申请日期	2020-06-17
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-09-07	公开/公告号	CN113359205A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01V8/10 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01V 地球物理；重力测量；物质或物体的探测；示踪物（用于指示因事故被掩埋的人的位置，例如，被雪掩埋的人的位置的装置入A63B 29/02）〔4，6〕 G01V8/00 用光学装置勘探或探测〔6〕 G01V8/10 探测，例如，用光垒（用来自目标的反射光入G01S 17/00）〔6〕	IPC分类号	G;0;1;V;8;/;1;0查看分类表>
申请人	考姆爱斯株式会社	申请人地址	韩国忠清北道清州市兴德邱公团路98番吉77 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	考姆爱斯株式会社	当前权利人	考姆爱斯株式会社
发明人	黄善伍
代理机构	北京科亿知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	汤东凤

摘要

本发明涉及PCB板生产技术领域，具体涉及一种半导体基板用保护膜是否剥离监视装置及方法，包括发光装置，所述发光装置朝向基板即拍摄对象正向照射光；第一偏光子，所述第一偏光子位于所述发光装置的前方，使所述发光装置生成的光变换成线偏光，入射到拍摄对象方向；第二偏光子，所述第二偏光子与所述第一偏光子具有直交性，位于基板与受光传感器之间，使被基板反射的第一反射光变换成第二反射光，穿过受光传感器方向；受光传感器，所述受光传感器接受穿过所述第二偏光子的光，生成光相关电信号并传输给控制部；控制部，所述控制部以从受光传感器传输的光相关电信号或光强度值为基础，判断检查对象基板T表面是否残留有膜。

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