使用加成制造工艺的具复合材料特性的CMP衬垫建构

发明专利有效专利

申请号：
CN202110880110.1
IPC分类号：B24B37/22;B33Y80/00;B24D3/28;B24D18/00;B24B37/20;B24B37/24;B33Y10/00
申请日期：
2015-04-24
申请人：
应用材料公司

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著录项信息

专利名称	使用加成制造工艺的具复合材料特性的CMP衬垫建构
申请号	CN202110880110.1	申请日期	2015-04-24
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-11-02	公开/公告号	CN113579992A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B37/22 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B37/00 研磨机床或装置；附件（B24B 3/00优先） B24B37/11 研具〔2012.01〕 B24B37/20 用于加工平面的研磨垫〔2012.01〕 B24B37/22 以多层结构为特征〔2012.01〕	IPC分类号	B;2;4;B;3;7;/;2;2;;;B;3;3;Y;8;0;/;0;0;;;B;2;4;D;3;/;2;8;;;B;2;4;D;1;8;/;0;0;;;B;2;4;B;3;7;/;2;0;;;B;2;4;B;3;7;/;2;4;;;B;3;3;Y;1;0;/;0;0查看分类表>
申请人	应用材料公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	应用材料公司	当前权利人	应用材料公司
发明人	R·巴贾杰;K·克里希南;M·C·奥里拉利;D·莱德菲尔德;F·C·雷德克;N·B·帕迪班德拉;G·E·蒙柯;J·G·方;R·E·帕里;R·E·达文波特
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	付尉琳;侯颖媖

摘要

本公开的实施例大体而言提供包括复合衬垫主体的研磨垫及形成该研磨垫的方法。一个实施例提供包括复合衬垫主体的研磨垫。该复合衬垫主体包括由第一材料或第一材料组成物形成的一个或更多个第一特征，及由第二材料或第二材料组成物形成的一个或更多个第二特征，其中该一个或更多个第一特征和该一个或更多个第二特征是通过沉积多个包含该第一材料或第一材料组成物和第二材料或第二材料组成物的层所形成的。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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