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半导体装置及其制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201780010885.5
  • IPC分类号:H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/12;H01L23/522
  • 申请日期:
    2017-02-10
  • 申请人:
    TOWERJAZZ松下半导体有限公司
著录项信息
专利名称半导体装置及其制造方法
申请号CN201780010885.5申请日期2017-02-10
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2018-10-23公开/公告号CN108701614A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/3205
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;2;0;5;;;H;0;1;L;2;1;/;7;6;8;;;H;0;1;L;2;3;/;1;2;;;H;0;1;L;2;3;/;5;2;2查看分类表>
申请人TOWERJAZZ松下半导体有限公司申请人地址
日本富山县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人高塔伙伴半导体有限公司当前权利人高塔伙伴半导体有限公司
发明人井上由佳;福罗满德;高桥信义;小田真弘;矢野尚;伊藤礼;森永泰规
代理机构北京煦润律师事务所代理人梁永芳
摘要
半导体装置包括:第一层间膜(2)、第一金属布线(3)、第二层间膜(5)、第二金属布线(11)、第一通孔塞(10)、着陆垫(12)以及第二通孔塞(25)。第一层间膜(2)形成在衬底(1)的上表面上;第一通孔塞(10)将第一金属布线(3)和第二金属布线(11)电连接起来,着陆垫(12)被埋入第一层间膜(2)的上部内且贯穿第二层间膜(5),第二通孔塞(25)从衬底(1)的背面一侧贯穿衬底(1)和第一层间膜(2)且与着陆垫(12)相连接。着陆垫(12)的下表面的位置与第一金属布线(3)的下表面的位置不同。

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