面向集成电路检测的计算机辅助管理装置及方法和系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201110064864.6
IPC分类号：G01B11/02
申请日期：
2011-03-17
申请人：
上海亚尚电子科技有限公司

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著录项信息

专利名称	面向集成电路检测的计算机辅助管理装置及方法和系统
申请号	CN201110064864.6	申请日期	2011-03-17
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2011-11-23	公开/公告号	CN102252616A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先）	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人	上海亚尚电子科技有限公司	申请人地址	江苏省宿迁市泗洪县经济开发区泰山路西侧嘉陵江路北侧变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏亚尚电子科技有限公司	当前权利人	江苏亚尚电子科技有限公司
发明人	杨怀军;温任华;王长青
代理机构	上海汉声知识产权代理有限公司	代理人	郭国中

摘要

本发明提供一种面向集成电路检测的计算机辅助管理装置，其特征在于，包括如下装置：工作台控制装置，其用于调整工作台的垂直位置以及水平位置；托盘控制装置，其用于调整托盘的水平度；光源控制装置，其用于控制光源使测量区域灰度值落在目标灰度值的容许波动范围内；图像采集装置，其用于放大并采集被观测物图像；尺寸测量装置，其用于根据所述被观测物图像输出几何尺寸信息。还提供相应的方法和系统。本发明通过采集被测物体图像后生成灰度曲线，然后根据灰度曲线自动确定被检测物图像的发生位置与结束位置，因此避免了因为人工点选位置而导致精度不高的问题。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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