碳化硅单晶的制造装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201010196460.8
IPC分类号：C30B29/36
申请日期：
2010-06-03
申请人：
株式会社电装;LPE股份公司

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著录项信息

专利名称	碳化硅单晶的制造装置
申请号	CN201010196460.8	申请日期	2010-06-03
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2010-12-08	公开/公告号	CN101906664A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B29/36 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B29/00 以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料〔3，5〕 C30B29/10 无机化合物或组合物〔3〕 C30B29/36 碳化物〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;9;/;3;6查看分类表>
申请人	株式会社电装;LPE股份公司	申请人地址	日本爱知县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社电装,LPE股份公司	当前权利人	株式会社电装,LPE股份公司
发明人	小岛淳;木藤泰男;索尼娅·安吉利斯;安布罗焦·佩斯纳提;约瑟夫·塔伦齐
代理机构	永新专利商标代理有限公司	代理人	周欣;陈建全

摘要

本发明的碳化硅单晶制造装置具备反应容器(10)、配置在反应容器(10)内的晶种(5)和加热容器(9)。晶种(5)被配置在反应容器(10)的上方，从反应容器(10)下方供给原料气体(3)。加热容器(9)相对于反应容器(10)被配置在原料气体(3)的流动路径上游侧。加热容器(9)具备中空筒状部件(9c)、原料气体入口(9a)、原料气体供给喷嘴(9b)和多个挡板(9d～9i)。原料气体入口(9a)向中空筒状部件(9c)内导入原料气体(3)。原料气体供给喷嘴(9b)将原料气体(3)从中空筒状部件(9c)向反应容器(10)中排出。多个挡板(9d～9i)在从原料气体入口(9a)到原料气体供给喷嘴(9b)之间被配置在原料气体(3)的流动路径上。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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