一种银钯铟靶材及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202211219575.3
IPC分类号：B22F9/08;B22F1/05;C22C5/06;C23C24/04
申请日期：
2022-09-30
申请人：
先导薄膜材料（广东）有限公司

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著录项信息

专利名称	一种银钯铟靶材及其制备方法
申请号	CN202211219575.3	申请日期	2022-09-30
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2022-12-02	公开/公告号	CN115415534A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B22F9/08 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B22 铸造；粉末冶金 B22F 金属粉末的加工；由金属粉末制造制品；金属粉末的制造（用粉末冶金法制造合金入C22C；）；金属粉末的专用装置或设备 B22F9/00 制造金属粉末或其悬浮物；所用的专用装置或设备 B22F9/02 用物理方法〔3〕 B22F9/06 从液体材料开始〔3〕 B22F9/08 用铸造方法，如通过筛或注入水中，用雾化或喷雾方法（利用放电入B22F 9/14）〔3〕	IPC分类号	B;2;2;F;9;/;0;8;;;B;2;2;F;1;/;0;5;;;C;2;2;C;5;/;0;6;;;C;2;3;C;2;4;/;0;4查看分类表>
申请人	先导薄膜材料（广东）有限公司	申请人地址	广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	先导薄膜材料（广东）有限公司	当前权利人	先导薄膜材料（广东）有限公司
发明人	沈文兴;白平平;童培云;黄成建
代理机构	广州三环专利商标代理有限公司	代理人	陈静

摘要

本发明公开了一种银钯铟靶材及其制备方法，属于靶材制备技术领域。本发明通过三步法制备银钯铟靶材，第一步采用气雾化制备银钯铟合金粉体，所得银钯铟合金粉体具有组分均匀、粒径小、氧含量低的优点；第二步通过控制背板的移动方向，采用冷喷涂的方法制备银钯铟靶坯；第三步通过机械加工得到银钯铟靶材，所制备的银钯铟靶材具有密度高达到99％以上、组分均匀、氧含量低于100ppm等优点；解决了熔炼浇注法制备银钯铟靶材偏析、组分不均和工序繁多且复杂等系列问题。同时也能制备大尺寸的平面银钯铟靶材。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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