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7N电子级超纯氨的分析方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201110058714.4
IPC分类号：G01N30/88;G01N30/20
申请日期：
2011-03-11
申请人：
苏州金宏气体股份有限公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	7N电子级超纯氨的分析方法
申请号	CN201110058714.4	申请日期	2011-03-11
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2011-09-14	公开/公告号	CN102183610A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N30/88 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N30/00 利用吸附作用、吸收作用或类似现象，或者利用离子交换，例如色谱法将材料分离成各个组分，来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 29/00优先）〔4〕 G01N30/02 柱色谱法〔4〕 G01N30/88 不能为G01N 30/04至G01N 30/86组中单独一个组所包括的、相应专用的综合分析系统〔4〕	IPC分类号	G;0;1;N;3;0;/;8;8;;;G;0;1;N;3;0;/;2;0查看分类表>
申请人	苏州金宏气体股份有限公司	申请人地址	江苏省苏州市相城区黄埭镇潘阳工业园安民路6号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州金宏气体股份有限公司	当前权利人	苏州金宏气体股份有限公司
发明人	金向华;李英辉;吴彦敏
代理机构	南京众联专利代理有限公司	代理人	周新亚

摘要

本发明涉及一种测定7N电子级超纯氨中痕量杂质浓度的方法，该方法通过防腐防吸附处理的管路系统、大流量置换吹扫取样以及三阀四柱切割反吹气路系统使超高纯氨气中的痕量杂质得以分离，并用直流放电氦离子化检测器（DID）分析杂质气体。其优点是能在很短的时间内给出平衡的（稳定状态）分析值、以及定量准确、检测限低和分析周期短。

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