具有对硅微加工工艺误差不敏感的微机械滤波器

实用新型专利无效专利

申请号：
CN200720037415.1
IPC分类号：H03H9/00;B81B3/00
申请日期：
2007-05-15
申请人：
东南大学

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著录项信息

专利名称	具有对硅微加工工艺误差不敏感的微机械滤波器
申请号	CN200720037415.1	申请日期	2007-05-15
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H03H9/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H03 基本电子电路 H03H 阻抗网络，例如谐振电路；谐振器（测量，试验入G01R；产生混响或回声装置入G10K 15/08；由分布阻抗，例如波导型，组成的阻抗网络或谐振器入H01P；放大的控制，例如放大器的带宽控制入H03G；调谐谐振电路，例如调谐耦合谐振电路入H03J；改善通信系统频率特性的网络入H04B） H03H9/00 包括机电或电声器件的网络；机电谐振器（制造压电或磁致伸缩元件入H01L 41/00；扬声器，话筒，唱机拾音器或类似物入H04R）	IPC分类号	H;0;3;H;9;/;0;0;;;B;8;1;B;3;/;0;0查看分类表>
申请人	东南大学	申请人地址	江苏省南京市四牌楼2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东南大学	当前权利人	东南大学
发明人	李普
代理机构	南京经纬专利商标代理有限公司	代理人	叶连生

摘要

具有对硅微加工工艺误差不敏感的微机械滤波器属于硅微机械滤波器制造技术领域。该微机械滤波器包括耦合梁、梳状振子、折叠梁。通过设定耦合梁与折叠梁在振动方向的具有相同的宽度，并且在梳状振子上的开设多个鲁棒补偿孔，让一个梳状振子外边沿的周长与该梳状振子上的各个鲁棒补偿孔的周长之和，同折叠梁在振动方向上的宽度的乘积，等于一个梳状振子外边沿所包围的面积减去该梳状振子上的各个鲁棒补偿孔的面积所得之差的六倍，把加工工艺误差对固有频率的影响降为二阶小，工艺误差不会明显改变固有频率，进而保证了滤波器的通带位置与通带宽度的稳定，使该机械滤波器具有对硅微加工工艺误差不敏感的特性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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