一种基于双光纤椭圆光斑准直器的2×2MEMS光开关

发明专利有效专利

申请号：
CN200810203285.3
IPC分类号：G02B6/35;G02B6/32;G02B26/10
申请日期：
2008-11-25
申请人：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所

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专利名称	一种基于双光纤椭圆光斑准直器的2×2MEMS光开关
申请号	CN200810203285.3	申请日期	2008-11-25
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2009-04-15	公开/公告号	CN101408647
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B6/35 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B6/22 （转入G02B 6/036） G02B6/24 光波导的耦合（电波导的耦合入H01P 1/00）〔4，5〕 G02B6/26 光耦合装置（G02B 6/36，G02B 6/42优先）〔4〕 G02B6/35 有切换装置的（一般的光学切换入G02B 26/08；通过改变介质的光学特性的入G02F 1/00）〔6〕	IPC分类号	G;0;2;B;6;/;3;5;;;G;0;2;B;6;/;3;2;;;G;0;2;B;2;6;/;1;0查看分类表>
申请人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	申请人地址	上海市长宁区定西路1328号3楼307室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海矽睿科技股份有限公司	当前权利人	上海矽睿科技股份有限公司
发明人	吴亚明;黄占喜
代理机构	上海智信专利代理有限公司	代理人	潘振甦

摘要

本发明涉及一种基于双光纤椭圆光斑准直器的2×2 MEMS光开关。其特征在于：(1)光开关采用一对双光纤椭圆光斑准直器和MEMS微镜耦合而成；(2)双光纤椭圆光斑准直器的出射光束束腰光斑为椭圆形光斑，即在两个互相垂直方向上的光斑半径不相等；(3)双光纤椭圆光斑准直器的准直透镜包含柱面，将圆形光斑变成椭圆光斑；(4)准直透镜表面镀增透膜以增加回波损耗；(5)椭圆光斑准直器为双光纤准直器，输入光纤为双光纤；(6)MEMS微镜为MEMS梳齿驱动平动微镜；(7)MEMS微镜放置在椭圆光斑准直器出射光束的束腰位置，驱动方向与光斑短轴方向一致。本发明可以大大减小2×2光开关对MEMS微镜驱动行程的要求，几十微米的行程即可获得足够低的光信号串扰。

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