配备有经调制照射源的光学计量工具

发明专利有效专利

申请号：
CN201280056445.0
IPC分类号：G01B11/04
申请日期：
2012-10-11
申请人：
科磊股份有限公司

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著录项信息

专利名称	配备有经调制照射源的光学计量工具
申请号	CN201280056445.0	申请日期	2012-10-11
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-07-16	公开/公告号	CN103930749A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/04 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先） G01B11/04 专用于物体移动时计量其长度或宽度	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;4查看分类表>
申请人	科磊股份有限公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	科磊股份有限公司	当前权利人	科磊股份有限公司
发明人	安德烈·V·谢卡格罗瓦;劳伦斯·D·罗特;戴维·Y·王;安德烈·韦尔德曼;凯文·彼得林茨;格雷戈里·布雷迪;德里克·萨乌夫尼斯
代理机构	北京律盟知识产权代理有限责任公司	代理人	张世俊

摘要

本发明可包含：可调制照射源，其经配置以照射安置于样本载台上的样本的表面；检测器，其经配置以检测从所述样本的表面发出的照射；照射光学器件，其经配置以将来自所述可调制照射源的照射引导到所述样本的所述表面；收集光学器件，其经配置以将来自所述样本的所述表面的照射引导到所述检测器；及调制控制系统，其通信地耦合到所述可调制照射源，其中所述调制控制系统经配置而以适于产生具有选定相干特征长度的照射的选定调制频率调制所述可调制照射源的驱动电流。另外，本发明包含多个光源的输出的时间循序交错以产生供在多波长时间循序光学计量中使用的周期性脉冲串。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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