基于薄膜衰减光而分析相关试验的仪器

发明专利无效专利

申请号：
CN200510085540.5
IPC分类号：G01B11/06;G01N21/21
申请日期：
2000-08-03
申请人：
热生物之星公司;旭化成株式会社

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专利名称	基于薄膜衰减光而分析相关试验的仪器
申请号	CN200510085540.5	申请日期	2000-08-03
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2006-02-15	公开/公告号	CN1734230
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先） G01B11/06 用于计量厚度	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;6;;;G;0;1;N;2;1;/;2;1查看分类表>
申请人	热生物之星公司;旭化成株式会社	申请人地址	美国科罗拉多州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	热生物之星公司,旭化成株式会社	当前权利人	热生物之星公司,旭化成株式会社
发明人	S·杨
代理机构	北京纪凯知识产权代理有限公司	代理人	赵蓉民;路小龙

摘要

改进的偏振片椭圆测量仪能够提高信号质量和信噪比性能。这种改进是基于相对于一个固定的偏振片旋转另一个偏振片，以便产生与分析薄膜相关的AC模式信号。AC模式信号可以与背景信号比较，使用样本信号与背景信号的比值提供薄膜厚度的更精确测量。可以把不知厚度的归一化AC信号与对于确切厚度测量具有类似光学性能的薄膜产生的标准曲线比较，或者可以直接用于表示相对厚度值。还描述了本发明改进偏振片椭圆测量仪的其他变形，其中去掉一个或两个固定偏振片，以便通过减少光学元件的数量改善信号强度。设计这些变形应用于特别的薄膜和基质条件。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	US3880524A	暂无	1973-06-25	Automatic ellipsometer失效专利	IBM
2	US4826321A	暂无	1988-03-14	Thin dielectric film measuring system失效专利	Vincent J. Coates;Warren W. Lin
3	US5416594A	暂无	1993-07-20	Surface scanner with thin film gauge失效专利	Kenneth P. Gross;George J. Kren;Christopher F. Bevis
4	CN1144906A	1997-03-12	1995-09-06	薄膜厚度和折射率的成像检测法及其设备无效专利	东南大学

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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