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研磨头以及具有该研磨头的化学机械研磨装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201911152824.X
IPC分类号：B24B37/10;B24B37/20;B24B37/30;B24B37/34;B24B57/02
申请日期：
2019-11-22
申请人：
夏泰鑫半导体（青岛）有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	研磨头以及具有该研磨头的化学机械研磨装置
申请号	CN201911152824.X	申请日期	2019-11-22
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2021-05-25	公开/公告号	CN112828760A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B37/10 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B37/00 研磨机床或装置；附件（B24B 3/00优先） B24B37/04 适用于加工平面的〔1，2012.01〕 B24B37/07 以工件或研具的运动为特征〔2012.01〕 B24B37/10 用于单侧研磨〔2012.01〕	IPC分类号	B;2;4;B;3;7;/;1;0;;;B;2;4;B;3;7;/;2;0;;;B;2;4;B;3;7;/;3;0;;;B;2;4;B;3;7;/;3;4;;;B;2;4;B;5;7;/;0;2查看分类表>
申请人	夏泰鑫半导体（青岛）有限公司	申请人地址	山东省青岛市黄岛区太白山路172号青岛中德生态园双创中心219室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	夏泰鑫半导体（青岛）有限公司	当前权利人	夏泰鑫半导体（青岛）有限公司
发明人	申埈燮
代理机构	深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司	代理人	叶乙梅;龚慧惠

摘要

本公开提供了一种研磨晶圆的研磨头以及具有该研磨头的化学机械研磨装置。研磨头包括主体和至少两个空气模块。主体具有用于容纳晶圆的空腔、主通道以及至少两个连接至主通道的子通道。至少两个空气模块设置在主体的外表面处。每个空气模块分别连接至主体的其中一个子通道，并且配置成生成气流。当研磨头旋转时，气流在主体的外表面周围形成气幕。

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