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一种基于光纤的原子力显微镜探头及原子力显微镜系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201611245753.4
IPC分类号：G01Q60/40;G01Q60/24;G01Q70/16;G01Q70/08
申请日期：
2016-12-29
申请人：
山东大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种基于光纤的原子力显微镜探头及原子力显微镜系统
申请号	CN201611245753.4	申请日期	2016-12-29
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-03-15	公开/公告号	CN106501551A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01Q60/40 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01Q 扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术〔SPM〕〔2010.01〕 G01Q60/00 特殊类型的SPM 〔扫描探针显微术〕或其设备；其基本组成〔2010.01〕 G01Q60/24 AFM 〔原子力显微术〕或其设备，例如AFM探针〔2010.01〕 G01Q60/38 探针，其制造或有关的使用仪器，例如支撑物〔2010.01〕 G01Q60/40 导电探针〔2010.01〕	IPC分类号	G;0;1;Q;6;0;/;4;0;;;G;0;1;Q;6;0;/;2;4;;;G;0;1;Q;7;0;/;1;6;;;G;0;1;Q;7;0;/;0;8查看分类表>
申请人	山东大学	申请人地址	山东省济南市经十路17923号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	山东大学	当前权利人	山东大学
发明人	曹弘毅;张雷;姜明顺;隋青美;曹玉强;张法业
代理机构	济南圣达知识产权代理有限公司	代理人	张勇

摘要

本发明涉及一种基于光纤的原子力显微镜探头及原子力显微镜系统，基于光纤的原子力显微镜探头包括探针和微悬臂梁，探针位于微悬臂梁的一端，所述微悬臂梁位于光纤的一端，微悬臂梁通过一连接臂与光纤一端面之间形成光纤F‑P腔，微悬臂梁用来感应探针与样品之间距离的变化，当微悬臂梁发生形变引起所述光纤F‑P腔的腔长发生变化时，反射光强度被光纤F‑P腔所调制。

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