真空设备的感测装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN200820000084.9
IPC分类号：H01L21/00;H01L21/02
申请日期：
2008-01-04
申请人：
北儒精密股份有限公司

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著录项信息

专利名称	真空设备的感测装置
申请号	CN200820000084.9	申请日期	2008-01-04
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2查看分类表>
申请人	北儒精密股份有限公司	申请人地址	中国台湾台南县新市乡环东路二段23号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北儒精密股份有限公司	当前权利人	北儒精密股份有限公司
发明人	黄泳钊;许三益;郑博仁
代理机构	北京邦信阳专利商标代理有限公司	代理人	王昭林;崔华

摘要

一种真空设备的感测装置，该真空设备包含一界定出一真空容室的真空腔体，而该感测装置包含：一气密地插接在该真空腔体上的安装单元、一装设在安装单元外侧的隔离件、一将隔离件定位在安装单元上的衔接单元及一固定地安装在衔接单元上的感测元件。该安装单元包括一沿其长向贯穿且连通真空容室的通道。该隔离件安装在通道的外端上用于阻隔通道使其不与外界连通。该感测元件能透过隔离件感测到通道内的物性。通过安装单元与衔接单元的装设及隔离件的阻隔，将感测元件安装在真空腔体外，可具有较准确的感测结果，而且也利于调整换装。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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