一种可加强石英坩埚清洗能力的装置

发明专利无效专利

申请号：
CN201010286200.X
IPC分类号：C30B35/00;B08B9/093;B08B13/00
申请日期：
2010-09-16
申请人：
扬州华尔光电子材料有限公司

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专利名称	一种可加强石英坩埚清洗能力的装置
申请号	CN201010286200.X	申请日期	2010-09-16
法律状态	撤回	申报国家	暂无
公开/公告日	2012-04-04	公开/公告号	CN102400228A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B35/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B35/00 未包括在其他分类位置中的专门适用于单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的生长、制备或后处理的一般装置〔3，5〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;5;/;0;0;;;B;0;8;B;9;/;0;9;3;;;B;0;8;B;1;3;/;0;0查看分类表>
申请人	扬州华尔光电子材料有限公司	申请人地址	江苏省高邮市经济开发区长江路科技创新中心变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	扬州华尔光电子材料有限公司	当前权利人	扬州华尔光电子材料有限公司
发明人	杨业林;陈宝昌
代理机构	南京苏高专利商标事务所（普通合伙）	代理人	徐激波

摘要

本发明公开了一种可加强石英坩埚清洗能力的装置，包括支撑模块一、支撑模块二、配合件、组合喷淋头和支撑爪，所述支撑模块一和支撑模块二围绕组合喷淋头设置，支撑模块一和支撑模块二之间通过配合件连接，支撑模块一和支撑模块二上分别安装有支撑爪，支撑爪上设置有凹槽。本发明承载石英坩埚的支撑模块选用无毒环保、耐磨、弹性较好的BPU材料制成，具有良好的防撞性能，可减小石英坩埚与支撑模块相接触形成的后天应力，而且通过两组支撑模块的上下位置互换，可在清洗过程中实现升降切换，彻底消除整个系统的清洗死角。

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