半导体炉管温度及气体流量异常事件的预防方法

发明专利无效专利

申请号：
CN03146455.6
IPC分类号：H01L21/00;H01L21/66
申请日期：
2003-07-15
申请人：
旺宏电子股份有限公司

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著录项信息

专利名称	半导体炉管温度及气体流量异常事件的预防方法
申请号	CN03146455.6	申请日期	2003-07-15
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2005-01-26	公开/公告号	CN1571116
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人	旺宏电子股份有限公司	申请人地址	中国台湾变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	旺宏电子股份有限公司	当前权利人	旺宏电子股份有限公司
发明人	何达能;林宗平;杨令武;张忠吉
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	王占梅

摘要

一种半导体炉管温度及气体流量异常事件的预防方法及装置，在炉管的管壁及其外部的加热器分别装设侧翼热耦及火门热耦，一温度控制器连接该二热耦以操控该加热器，及一流量控制器管制导入该炉管的气体流量，为预防温度及气体流量异常事件，检视该火门热耦以维持其在第一温度范围，接着检视该侧翼热耦以维持其在第二温度范围，并检视该流量控制器的零点以维持其在第一气体流量速率范围，将晶圆载入后升温，然后检视该侧翼热耦以维持其在第三温度范围，并检视该流量控制器以维持其在第二气体流量速率范围，在主程序中注入气体至该炉管，完成主程序后降温卸载该晶圆。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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