半导体装置及其制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200810098334.1
IPC分类号：H01L29/788;H01L29/423;H01L29/49;H01L27/115;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8247
申请日期：
2008-05-23
申请人：
东部高科股份有限公司

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著录项信息

专利名称	半导体装置及其制造方法
申请号	CN200810098334.1	申请日期	2008-05-23
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2008-11-26	公开/公告号	CN101312214
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L29/788 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L29/00 专门适用于整流、放大、振荡或切换，并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒，例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器；半导体本体或其电极的零部件（H01L 31/00至H01L 47/00，H01L 51/05优先；除半导体或其电极之外的零部件入H01L 23/00；由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L 27/00）〔2，6〕 H01L29/66 按半导体器件的类型区分的〔2〕 H01L29/68 只能通过对一个不通有待整流、放大或切换的电流的电极供给电流或施加电位方可进行控制的（H01L 29/96优先）〔2〕 H01L29/76 单极器件〔2〕 H01L29/772 场效应晶体管〔6〕 H01L29/78 由绝缘栅产生场效应的〔2〕 H01L29/788 带有浮栅的〔5〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;9;/;7;8;8;;;H;0;1;L;2;9;/;4;2;3;;;H;0;1;L;2;9;/;4;9;;;H;0;1;L;2;7;/;1;1;5;;;H;0;1;L;2;1;/;2;8;;;H;0;1;L;2;1;/;3;3;6;;;H;0;1;L;2;1;/;8;2;4;7查看分类表>
申请人	东部高科股份有限公司	申请人地址	韩国首尔变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东部高科股份有限公司	当前权利人	东部高科股份有限公司
发明人	郑泰雄
代理机构	北京博浩百睿知识产权代理有限责任公司	代理人	宋子良;阮伟

摘要

本发明涉及一种利用MPS工艺实现闪存多晶硅浮栅的方法，包括在半导体衬底的有源区上形成隧道氧化层；然后在该隧道氧化层上并接触该隧道氧化层形成第一浮栅；然后在该第一浮栅上并接触第一浮栅形成第二和第三浮栅，其中第二和第三浮栅相对于第一浮栅垂直延伸；然后在第一、第二和第三浮栅上形成多亚稳态多晶硅层；然后在包括多亚稳态多晶硅层的半导体衬底上形成控制栅。因此，与平浮栅相比，它可以通过有限的面积增加电容器的表面积。从而，可以提高对闪存装置很重要的耦合器的分光比并提高半导体装置的产量和可靠性。

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