等离子体处理装置及等离子体分布的调节方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201410836727.3
IPC分类号：H01J37/32
申请日期：
2014-12-24
申请人：
中微半导体设备（上海）有限公司

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著录项信息

专利名称	等离子体处理装置及等离子体分布的调节方法
申请号	CN201410836727.3	申请日期	2014-12-24
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2016-07-20	公开/公告号	CN105789010A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	中微半导体设备（上海）有限公司	申请人地址	上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中微半导体设备（上海）股份有限公司	当前权利人	中微半导体设备（上海）股份有限公司
发明人	李俊良
代理机构	上海天辰知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	林彦之;张磊

摘要

本发明公开了一种等离子体处理装置，其包含反应腔室和驱动单元。反应腔室包括用于载置待处理基片的基座；围绕基片外周设置的组合式遮蔽环，其包括内环和外环；以及多个叉状连杆，其上端分为内外两个支杆，其中外侧支杆对应于外环，内侧支杆对应于内环。每个支杆顶端具有支撑部，外侧支杆的支撑部的高度大于内侧支杆的支撑部的高度。驱动单元驱动叉状连杆在第一位置和第二位置之间垂直移动，当叉状连杆位于第一位置时，两个支杆的支撑部均不与组合式遮蔽环接触；当叉状连杆上升至第二位置时，外环抵贴外侧支杆的支撑部、内环抵贴内侧支杆的支撑部。本发明能够提高基片表面等离子体分布的均匀性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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