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一种溅射靶材与背板的连接组件

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202220244030.7
IPC分类号：C23C14/35
申请日期：
2022-01-29
申请人：
华映科技（集团）股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种溅射靶材与背板的连接组件
申请号	CN202220244030.7	申请日期	2022-01-29
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/35 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕 C23C14/35 利用磁场的，例如磁控溅射〔5〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;5查看分类表>
申请人	华映科技（集团）股份有限公司	申请人地址	福建省福州市马尾区儒江西路6号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	华映科技（集团）股份有限公司	当前权利人	华映科技（集团）股份有限公司
发明人	伍丰伟
代理机构	福州君诚知识产权代理有限公司	代理人	戴雨君

摘要

本实用新型涉及一种溅射靶材与背板的连接组件，其包括靶材和背板，所述背板包括背板A和背板B，所述背板B顶部设有对应背板A两侧的插槽，所述插槽对应靶材设有槽口，所述靶材固定在背板A上后一体嵌设在背板B中，靶材高于背板的顶面，采用以上技术方案使背板与靶材的安装更简便、提升设备稼动率，另外提高背板B使用寿命，进一步降低面板的制作成本。

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