室温周期对数天线集成的碲化镍太赫兹探测器及制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110265603.4
IPC分类号：G01J1/42;H01L31/115
申请日期：
2021-03-11
申请人：
中国科学院上海技术物理研究所

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	室温周期对数天线集成的碲化镍太赫兹探测器及制备方法
申请号	CN202110265603.4	申请日期	2021-03-11
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-06-29	公开/公告号	CN113049096A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01J1/42 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01J 红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分，偏振、相位或脉冲特性的测量；比色法；辐射高温测定法〔2〕 G01J1/00 光度测定法，例如照相的曝光表（分光光度测定法入G01J 3/00；专用于辐射高温测定法的入G01J 5/00） G01J1/42 采用电辐射检测器（光学或机械部件入G01J 1/04；与基准光或基准电参数作比较的入G01J 1/10）	IPC分类号	G;0;1;J;1;/;4;2;;;H;0;1;L;3;1;/;1;1;5查看分类表>
申请人	中国科学院上海技术物理研究所	申请人地址	上海市虹口区玉田路500号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院上海技术物理研究所	当前权利人	中国科学院上海技术物理研究所
发明人	王林;张力波;沈家忠;邢怀中;陈效双;陆卫
代理机构	上海沪慧律师事务所	代理人	郭英

摘要

本发明公开了一种室温周期对数天线集成的碲化镍太赫兹探测器及制备`方法。器件制备步骤是将机械剥离的碲化镍转移到本征高阻硅衬底上，利用紫外光刻技术制作源、漏电极，并利用电子束蒸发和超声引线等工艺，制备成具有周期对数天线结构的碲化镍探测器。通过构造具有周期对数的金属结构天线，诱导表面等离子体共振，将太赫兹入射光子耦合到碲化镍表面，增强入射电磁波与材料的相互作用，实现室温高灵敏的太赫兹宽谱吸收，从而显著增强了探测器的源漏电流，大幅提高了器件的信噪比和探测能力。基于碲化镍的探测器在太赫兹波段体现了很高的灵敏度。本发明的优点是响应率高，响应快，功耗低和便于集成化。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供