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红外探测器像素结构和红外探测器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110138411.7
  • IPC分类号:H01L31/09;G01J5/20
  • 申请日期:
    2021-02-01
  • 申请人:
    北京北方高业科技有限公司
著录项信息
专利名称红外探测器像素结构和红外探测器
申请号CN202110138411.7申请日期2021-02-01
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-08-31公开/公告号CN113328000A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/09IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;0;9;;;G;0;1;J;5;/;2;0查看分类表>
申请人北京北方高业科技有限公司申请人地址
北京市丰台区育仁南路1号院4号楼13层1301 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京北方高业科技有限公司当前权利人北京北方高业科技有限公司
发明人翟光杰;潘辉;武佩
代理机构北京开阳星知识产权代理有限公司代理人安伟
摘要
本公开涉及一种红外探测器像素结构和红外探测器,红外探测器像素结构包括:衬底以及依次设置的第一结构层和第二结构层;第一结构层包括至少两个梁结构,梁结构连接中间支撑结构和微桥柱,由中间支撑结构向对应的微桥柱的梁路径中,交汇于同一节点的两条并行梁结构分别为第一半桥结构和第二半桥结构,第一半桥结构和第二半桥结构形成热对称结构;第一半桥结构的长度大于第二半桥结构的长度,沿垂直于衬底的方向,第一半桥结构的厚度大于第二半桥结构的厚度,微桥柱为实心柱结构;第一结构层包括第一电极层,第二结构层包括第二电极层和热敏层,第二电极层通过第一电极层电连接至微桥柱。该红外探测器像素结构能够提高红外探测器的探测性能。

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