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镀膜装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202222052348.8
  • IPC分类号:C23C16/509;H01J37/32
  • 申请日期:
    2022-08-05
  • 申请人:
    苏州迈为科技股份有限公司;苏州迈正科技有限公司
著录项信息
专利名称镀膜装置
申请号CN202222052348.8申请日期2022-08-05
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/509IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;5;0;9;;;H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人苏州迈为科技股份有限公司;苏州迈正科技有限公司申请人地址
江苏省苏州市吴江区芦荡路228号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏州迈为科技股份有限公司,苏州迈正科技有限公司当前权利人苏州迈为科技股份有限公司,苏州迈正科技有限公司
发明人王登志;张斌;何学勇;周剑;田罡煜;李王俊
代理机构北京品源专利代理有限公司代理人马迪
摘要
本实用新型公开了一种镀膜装置。包括固定支撑板和设置在所述固定支撑板上的镀膜电极,所述镀膜电极包括与所述固定支撑板平行设置的多个电极板,所述多个电极板之间相互绝缘设置;设置在所述固定支撑板上的多个电源及匹配器馈入系统,所述多个电源及匹配器馈入系统与所述多个电极板一一对应连接。与现有技术相比,本实用新型实施例所提供的镀膜装置具有在提升镀膜速率的同时保证镀膜均匀性、完整性和安全性的优点。

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