一种多层陶瓷基板气密性检测装置

发明专利有效专利

申请号：
CN202010424528.7
IPC分类号：G01M3/20;B25J15/06;B25J11/00;B65G49/06
申请日期：
2020-05-19
申请人：
盐城工业职业技术学院

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著录项信息

专利名称	一种多层陶瓷基板气密性检测装置
申请号	CN202010424528.7	申请日期	2020-05-19
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2020-07-17	公开/公告号	CN111426431A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01M3/20 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试 G01M3/00 结构部件的流体密封性的测试 G01M3/02 应用流体或真空 G01M3/04 通过在漏泄点检测流体的出现 G01M3/20 应用特殊示踪物质，例如染料、荧光材料、放射性材料	IPC分类号	G;0;1;M;3;/;2;0;;;B;2;5;J;1;5;/;0;6;;;B;2;5;J;1;1;/;0;0;;;B;6;5;G;4;9;/;0;6查看分类表>
申请人	盐城工业职业技术学院	申请人地址	江苏省盐城市城南新区解放南路285号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	盐城工业职业技术学院	当前权利人	盐城工业职业技术学院
发明人	王明艳;方美清;姜为青;李明
代理机构	南京经纬专利商标代理有限公司	代理人	石艳红

摘要

本发明公开了一种多层陶瓷基板气密性检测装置，包括定位上料装置、机械手、对中定位装置、真空接头、真空橡皮、喷枪和质谱检漏仪；定位上料装置包括上料筒和顶升板；若干块待测的多层陶瓷基板垂直堆叠放置在顶升板顶部；真空橡皮具有空腔窗；机械手底部设有吸盘和弹性压框；弹性压框同轴套设在吸盘外周的机械手底部，弹性压框的截面宽度不小于0.5mm；对中定位装置包括相互垂直的横向对中组件和竖向对中组件；横向对中组件和竖向对中组件均包括两块定位板。本发明能使整个检测过程均自动完成，自动化程度高，同时能准确控制多层陶瓷基板外边缘与空腔窗边缘之间的间距，且压紧位置和压紧力保持一致，从而使得气密性检测结果可靠、准确度高。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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