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一种测定离焦量的方法及系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410443058.3
  • IPC分类号:G01B11/14
  • 申请日期:
    2014-09-02
  • 申请人:
    南京中科神光科技有限公司
著录项信息
专利名称一种测定离焦量的方法及系统
申请号CN201410443058.3申请日期2014-09-02
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2014-11-26公开/公告号CN104165596A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01B11/14IPC分类号G;0;1;B;1;1;/;1;4查看分类表>
申请人南京中科神光科技有限公司申请人地址
江苏省南京经济技术开发区兴科路12号科创基地211室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人南京光宝光电科技有限公司当前权利人南京光宝光电科技有限公司
发明人孟繁霖;付强;周军;王国峰;邢飞
代理机构南京苏高专利商标事务所(普通合伙)代理人柏尚春
摘要
本发明公开了一种测定离焦量的方法及系统,用于扫描振镜系统中离焦量的测量,包括如下步骤:确定激光λ1的焦平面;测量结构光λ3与水平面之间形成一倾角α及焦距的值;测量指示光λ2偏离垂直面的角度θ;根据公式计算得出离焦量。本发明克服了常规测量工具由于读数引入的误差,并能实现非接触的距离测量,避免了常规测量对工件的损伤,并能实现狭小空间内的测距,提高了加工效率。

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