一种用于晶圆清洗机的清洗盘

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202021521126.0
IPC分类号：B25B11/00;B08B13/00;H01L21/683
申请日期：
2020-07-28
申请人：
苏州思达优科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种用于晶圆清洗机的清洗盘
申请号	CN202021521126.0	申请日期	2020-07-28
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B25B11/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B25 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手 B25B 不包含在其他类目中的用于紧固、连接、拆卸或夹持的工具或台式设备 B25B11/00 不包含在B25B 1/00至B25B 9/00各组中的工件夹持装置或定位装置，例如，磁性工件夹持装置、真空夹持装置（用于焊接、钎焊或通过局部加热而进行切割的工件的夹持或定位入B23K 37/04；专门用于机床的入B23Q 3/00）	IPC分类号	B;2;5;B;1;1;/;0;0;;;B;0;8;B;1;3;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分类表>
申请人	苏州思达优科技有限公司	申请人地址	江苏省苏州市苏州工业园区唯亭双马街69号2号厂房一楼102室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州思达优科技有限公司	当前权利人	苏州思达优科技有限公司
发明人	霍建忠;朱万杰
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种用于晶圆清洗机的清洗盘，包括底座、弧形块、摆夹和真空吸盘，所述底座上表面设置有若干个等圆心角弧形槽，所述弧形槽包括最内侧一圈的第一弧形槽、最外侧一圈的第三弧形槽和中间一圈的第二弧形槽，所述真空吸盘下端面上绕轴心圆形分布设置有与定位孔相配套的定位柱。本实用新型结构简单，通过在真空吸盘上设置定位柱，在底座上设置定位孔，将真空吸盘安装到底座上，使得真空吸盘与底座连接形成一体式的清洗盘，产品更换时不用更换清洗盘夹具，提高了工作效率，通过在底座上设置第一弧形槽、第二弧形槽和第三弧形槽、相应尺寸的弧形块和相应规格的真空吸盘，使得多种尺寸的晶圆能安装在该装置上，增加了该装置的适用性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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